多晶硅球閥出現(xiàn)卡死的處理故障方式有很多種，主要以下幾種方法比較可行：

1. 閥座的板簧變形腔，密封性能不好，以致于多晶硅的硅粉進入閥座板簧變形腔，造成板簧被堵死失效后，球閥被閥座卡死從而不能很好的進行開關，甚至不能關閉。

2. 閥體與球之間的中腔在閥門開關的時候進入硅粉，使球體抱死造成多晶硅球閥不能順利開關。但造成這種原因需要一個工況條件，就是在硅粉潮濕的情況下才能黏結在腔體內。而硅粉在干燥或流體的情況下是不會造成這種抱死的情況的。要是硅粉在干燥或流體的情況下造成抱死情況那就是第一種情況硅粉進入了閥座板簧變形腔了。

上述出現(xiàn)多晶硅球閥抱死故障的處理方法：

1. 采用全O形球體的球閥，雙閥座，板簧加載結構，閥座密封設計成寬面刮刀式結構，在閥門開關時能除去黏結在球面的硅粉，具有自剪的自清潔功能，板簧采用雙石墨密封結構，在閥門密封的同時，板簧也被密封，介質不會進入板簧變形腔，使板簧不被堵死失效，可以長時間滿足使用要求。

2. 在潮濕硅粉堵塞閥門中腔造成抱死不能開關的這種特殊情況， 我們一般建議客戶加強硅粉的干燥效果或改用推出的V形半球閥和V型球閥，來徹底解決多晶硅球閥卡死堵塞問題。